电子工业用超纯水设备

   电子工业用超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备;是电子厂生产用超纯水制备不可缺少的装置。

1、电子工业用超纯水设备工艺流程

电子工业用超纯水设备的常用工艺流程有以下几种：

（1）离子交换方式

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点

（2）双级反渗透方式

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

（3）EDI方式

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透主机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点 

超纯水制造技术的发展极大地推动了半导体和电子工业的技术进度。同时半导体、电子工业的迅速发展促进了超纯水制造技术和设备的发展。 

2、电子工业用超纯水设备的应用领域

（1）半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水。

（2）超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水。

（3）实验室和中试车间用超纯水。

（4）汽车、家电表面抛光处理。

（5）光电子产品。

（6）其他高科技精微产品。